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    硬质合金模具直流二极溅射

    发布时间:2020-05-31 浏览:589次 字号:  

    硬质合金模具直流二极溅射:

    直流二极溅射是在阴极上接1-3kV的直流负高压,阳极通常接地。这种装置的最大优点是结构简单,控制方便;缺点是因工作压力较高、膜层有玷污,沉积速率低、不能镀10um以上的膜厚,而且大量二次电子直接轰击基片使基片温升过高。

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